triklorosilan

Triklorosilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) je brezbarvna, zelo hlapljiva tekočina z ostrim, zadušljivim vonjem po klorovodiku. Ker vre pri 31,8 stopinje in burno reagira z vlago, je ključna surovina za Siemensov proces za proizvodnjo -polisilicija visoke čistosti za fotovoltaične sončne celice in polprevodniške rezine. TCS se pogosto uporablja tudi pri rasti silicijevih epitaksialnih rezin, sintezi organosilicija (silikonska olja, gume, smole, sredstva za spajanje), nanašanju tankega filma silicija CVD in kot selektivni reducent v organski sintezi. Na voljo v industrijski kakovosti (več kot ali enako 99,0 %) in elektronski kakovosti (do 9N čistosti). Klasificirano kot reaktivno z vodo in lahko vnetljivo (UN 1295, razred 4.3+2.3, PG I) z izjemno širokim razponom eksplozivnosti od 1,2 %–90,5 %; ravnajte le v strogo brezvodnih pogojih z zaščito pred suhim dušikom.